潘梦霄

作品数:1被引量:26H指数:1
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供职机构:河北工业大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题:微观结构电致变色VO氧化钒薄膜更多>>
发文领域:理学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊:《物理学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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氧化钒薄膜微观结构的研究被引量:26
《物理学报》2004年第6期1956-1960,共5页潘梦霄 曹兴忠 李养贤 王宝义 薛德胜 马创新 周春兰 魏龙 
国家自然科学基金 (批准号 :1992 70 0 1)资助的课题~~
采用直流磁控反应溅射在Si(1 0 0 )衬底上溅射得到 (0 0 1 )取向的V2 O5薄膜 .x射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM)和傅里叶变换红外光谱 (FTIR)的结果表明 ,氧分压影响薄膜的成分和生长取向 ,在氧分压 0 4Pa时溅射得到 (0 0 1 )取向的纳...
关键词:氧化钒薄膜 微观结构 择优取向 直流磁控溅射 傅里叶变换红外光谱分析 
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