王勇

作品数:2被引量:3H指数:1
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“探测器级”单晶金刚石材料生长技术研究进展被引量:1
《核电子学与探测技术》2017年第11期1111-1117,共7页王勇 刘林月 李东双 
国家自然科学基金(11605140;11435010;11275153)资助
为了获得高性能单晶金刚石探测器,综述了一种制备高质量单晶金刚石的方法。在制备过程中,尝试使用了Lift-off剥离技术,使衬底可重复利用,大大降低了金刚石材料的成本。研究表明,通过该方法制备的金刚石材料质量优于商用"电子器件级"金刚...
关键词:MPCVD HPHT 金刚石探测器 Ⅱa型衬底 LIFT-OFF OFF-AXIS 
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