王晓锐

作品数：1被引量：1H指数：1
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一维原子刻蚀的数值模拟(英文)被引量：1
《计算物理》2004年第3期327-332,共6页何明 李若虹 王晓锐 王谨 詹明生 
　通过直接的数值模拟,分析了原子束在激光驻波场下传播的动力学行为.估计了Cr原子沉积在基片上的焦点的大小,同时还发现一些实验参数会影响原子刻蚀的精度:如原子束的速度分布、激光的失谐量和激光束的直径等.
关键词：原子刻蚀 激光驻波场 量子力学数值模拟 原子物理学 失谐量 
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