邵鹏

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文主题：光固化蒙特卡罗微细加工光束蒙特卡罗法更多>>
发文领域：理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《光学学报》《光子学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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微细光束固化的蒙特卡罗建模被引量：1
《光学学报》2008年第12期2388-2393,共6页王翔 裴香涛 邵鹏 黄文浩 
国家863计划(2006AA04Z311)资助课题
光固化是光束与光敏树脂之间的光化学反应,其作用过程对光固化加工分辨率有着直接影响。基于光子输运理论,利用蒙特卡罗方法追踪光子在树脂中的运动轨迹,对曝光光束入射、传输过程进行抽样,建立了微细光束固化模型;利用遗传算法并结合...
关键词：微细加工 光固化 蒙特卡罗法 遗传算法 光子输运 
基于蒙特卡罗方法的光固化模拟
《光子学报》2008年第4期625-630,共6页裴香涛 王翔 邵鹏 黄文浩 
国家自然科学基金(50335050);国家高技术研究发展计划(863)(2006AA04Z311)资助
采用蒙特卡罗方法分析了光子在树脂中的输运过程,建立了紫外光单点固化模型,并进行了单点固化过程的模拟计算,通过曝光固化实验验证了该算法的可靠性.理论模拟和实验结果表明,当曝光能量达到临界值,固化点的高度和直径随曝光时间、功率...
关键词：微细加工 光成型技术 光固化 蒙特卡罗 数值模拟 
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