叶兵

作品数:1被引量:4H指数:1
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供职机构:浙江大学物理系物理学系更多>>
发文主题:薄膜折射率薄膜厚度椭圆偏振MATHEMATICA薄膜光学常数更多>>
发文领域:理学机械工程更多>>
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椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析被引量:4
《实验技术与管理》2011年第6期42-46,共5页陈星 童晟飞 王正忆 叶兵 
运用Mathematica,通过最优化理论开发迭代程序,计算SiO2、ZrO薄膜的折射率和单周期及多周期厚度,并与其他方法的计算结果进行对比分析,表明此方法计算结果可以达到较高的精度。通过分析椭偏参数和薄膜厚度的关系可知,一定厚度的薄膜材...
关键词:椭圆偏振 薄膜厚度 最佳入射角 
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