谭秀颖

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
发文主题：寄生电容机械滤波器滤波器芯片级谐振器更多>>
发文领域：电气工程电子电信更多>>
发文期刊：《测试技术学报》更多>>
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电容式射频微机械谐振器芯片级测试技术被引量：1
《测试技术学报》2008年第4期307-312,共6页王蕴达 蔡明 谭秀颖 陈兢 
国家863基金资助项目(2006AA04Z348)
针对用电容式射频微机械谐振器芯片级测试时信号微小、寄生效应严重、从而使得激励和检测困难的问题,本文对基于固支梁的微机械谐振器的电学测试理论和技术进行了研究.利用机电类比的方法得到了包含寄生参数的谐振器的等效电路并利用安...
关键词：微机械谐振器 寄生电容 射频 电学测试 等效电路 
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