赵越超

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供职机构:长春理工大学光电工程学院更多>>
发文主题:测长仪干涉仪分辨力非接触测量角度传感器更多>>
发文领域:电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊:《中国科技博览》更多>>
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纳米级分辨力重载电控二维倾斜调整架设计
《中国科技博览》2014年第4期61-61,共1页田明 赵越超 姜红 
针对采用斐索干涉仪检测大口径光学元件超高精度变形中如何实现标准器高分辨力调整问题,设计了一种大载荷、电动高分辨率光学二维倾斜调整架,通过分析计算,确定了蜗轮蜗杆加滚动丝杆的二级传动机构,并选择步进力矩电机驱动,实现了...
关键词:干涉仪 调整架 纳米级分辨力 电控 大载荷 
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