徐振明

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文主题：亚微米级光栅光强光电元件光电信号更多>>
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光栅二次衍射及其在精密定位中的应用被引量：1
《仪器仪表学报》1984年第4期68-72,共5页贾惠波 徐振明 廖艳姣 
本文描述了平行光束经两个光栅依次衍射后的强度随着两个光栅的相对位移而发生变化,分析了光栅间距与这个变化的对比度的关系。提出了一种基于调制搜索原理检测二次衍射零级光强实现高灵敏度、亚微米级精密定位的方法,给出了灵敏度0.1...
关键词：精密定位 重复定位精度 平行光束 亚微米级 光强 零级 Talbot 光电信号 光电元件 周期变化 
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