朱贺

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：浙江大学更多>>
发文主题：离子注入探测器波长选择表面等离激元锗更多>>
发文领域：电子电信理学文化科学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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高剂量As离子注入对高阻Si电学特性的影响被引量：4
《物理学报》2014年第13期320-326,共7页朱贺 张兵坡 王淼 胡古今 戴宁 吴惠桢 
国家自然科学基金(批准号:61290305和11374259)资助的课题~~
为了实现低电阻率厚度为纳米级的红外探测器电极材料,通过离子注入的方法将高浓度的As掺入高阻单晶硅,并经过快速退火处理,获得了厚度～200 nm、电阻率为10-4?·cm的Si:As电极层.原子力显微镜测试结果表明,离子注入的样品表面依然较平整...
关键词：硅电极材料 离子注入 低电阻率 微观结构 
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