云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 訾威

訾威: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院研究生院更多>>; 发文主题：MONTE_CARLO_SIMULATIONPROCESSMICROCRYSTALLINE更多>>; 发文领域：理学更多>>; 发文期刊：《Journal of Semiconductors》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>

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Growth Mechanism of Microcrystalline Silicon Films by Scaling Theory and Monte Carlo Simulation被引量：1: 《Journal of Semiconductors》2008年第8期1465-1468,共4页訾威周玉琴刘丰珍朱美芳; 国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA05Z408);国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CD202601,G2000028208);国家自然科学基金(批准号:10404038)资助项目~~; Hydrogenated microcrystalline silicon （~c-Si：H） films with a high deposition rate of 1.2nm/s were prepared by hot-wire chemical vapor deposition （HWCVD）. The growth-front roughening processes of the μc-Si..H fil...; 关键词：μc-Si：H growth mechanism scaling theory Monte Carlo simulations reemission process