徐书林

作品数:2被引量:5H指数:1
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供职机构:大连工业大学新能源材料研究所更多>>
发文主题:光电性能ITO氧化铟锡薄膜石英PET更多>>
发文领域:一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊:《材料工程》《大连工业大学学报》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划辽宁省教育厅高校重点实验室项目更多>>
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石英基底的ITO薄膜制备及光电性能被引量:1
《大连工业大学学报》2015年第1期60-63,共4页徐书林 胡志强 张临安 聂铭歧 张海涛 
国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2006AA05Z417);辽宁省教育厅重点实验室科技项目(2008S017)
采用脉冲磁控溅射法在高纯石英基底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电镜对石英基底上ITO薄膜的微观结构及表面形貌进行了分析,并且研究了溅射气压、溅射时间和衬底温度等工艺参数条件对以石英玻璃作基底制备...
关键词:氧化铟锡薄膜 脉冲磁控溅射 石英 
PET衬底上ITO薄膜的制备及光电性能被引量:4
《材料工程》2014年第3期71-76,共6页杨坤 胡志强 徐书林 王海权 于洋 刘贵山 姜妍彦 张海涛 
国家(863)高技术研究发展计划资助项目(2006AA05Z417);大连市科技平台建设项目(2010-354)
用脉冲磁控溅射法在柔性衬底聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了溅射气压、时间和衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的物相结构与表面形貌进行...
关键词:脉冲磁控溅射 氧化铟锡薄膜 PET 
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