潘继先

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转角模块对晶圆划切质量的影响因素研究
《中国设备工程》2022年第11期88-89,共2页李超 潘继先 韩华超 蒋兴桥 李东旭 陈立新 
本文主要研究砂轮划片机在切割晶圆的过程中,转角模块的各个参数对晶圆磨削切口质量的影响,通过实验对其进行了系统的工艺分析,并给出了砂轮划片机转角模块对晶圆划切工艺的调整改进方案。结构方面根据原来的转角模块存在的不足进行了改...
关键词：转角模块 划切工艺 划切参数 
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