张硕

作品数:2被引量:12H指数:2
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供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题:金属薄膜电流扩展衬底GAN纳米线ZNO纳米线更多>>
发文领域:电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊:《半导体技术》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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使用溅射AlN成核层实现大规模生产深紫外LED被引量:3
《半导体技术》2017年第9期675-680,共6页杜泽杰 段瑞飞 魏同波 张硕 王军喜 曾一平 冉军学 李晋闽 
国家自然科学基金资助项目(61334009;61474109;61306050)
高质量AlN薄膜对制造高性能深紫外器件非常重要,但是目前还很难使用大型工业MOCVD生长出高质量的AlN薄膜。采用磁控溅射制备了不同厚度的用作成核层的AlN薄膜,使用大型工业MOCVD直接在成核层上高温生长AlN外延层,研究了不同成核层对AlN...
关键词:金属有机物化学气相沉积(MOCVD) 氮化铝(AlN) 深紫外发光二极管(UV-LED) 成核层 磁控溅射 
白光LED的光生物安全性被引量:9
《半导体技术》2016年第5期329-334,370,共7页张硕 刘立莉 杨华 段瑞飞 
国家自然科学基金资助项目(61474109)
随着蓝光激发荧光粉转换白光LED在照明领域的商业化应用不断扩展,其光生物安全问题逐渐成为了照明领域专家和公众间的热点话题。综述了可见光中的蓝光波段对人体视网膜与昼夜节律可能产生的危害影响及其作用机理,对比分析了LED与传统照...
关键词:白光LED 蓝光危害 功率分布光谱 光生物安全 色温 
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