高涛

作品数：1被引量：5H指数：1
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钛酸钡系薄膜的制备方法、性质及应用被引量：5
《无机盐工业》2004年第4期5-8,共4页翟学良 杨芙丽 明常鑫 高涛 
综述了制备钛酸钡系薄膜的各种方法,如:溶胶—凝胶法、有机金属化学气相沉积法、射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法等,其中主要对溶胶—凝胶法和射频磁控溅射法的制备原理及工艺特点进行了讨论。介绍了钛酸钡薄膜的性质和掺杂后(主要是锶...
关键词：钛酸钡 薄膜 制备 
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