邢云云

作品数：1被引量：3H指数：1
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发文主题：LINBO光纤陀螺集成光学器件芯片铌酸锂更多>>
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LiNbO_3芯片的无损边缘抛光实验被引量：3
《应用光学》2014年第6期1069-1074,共6页李攀 白满社 邢云云 严吉中 
总装十二五规划资助项目(51318020101)
以抛光垫抛光工艺为基础,研究出一套完整的新型无损边缘抛光工艺,成功实现了高精度光纤陀螺集成光学调制器LiNbO3芯片边缘的无损抛光。即在分析LiNbO3芯片边缘抛光过程中棱边损伤产生原因的基础上,提出3条解决措施:控制研抛浆料中的大颗...
关键词：铌酸锂 集成光学器件 边缘抛光 光纤陀螺 
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