刘人怀

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：工业和信息化部电子第五研究所更多>>
发文主题：悬臂梁静电驱动吸合微悬臂梁电压分析更多>>
发文领域：机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《机械工程学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
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静电驱动阶梯型微悬臂梁吸合电压分析被引量：3
《机械工程学报》2018年第8期217-222,共6页朱军华 苏伟 刘人怀 宋芳芳 黄钦文 
国家自然科学基金(51505089);广东省自然科学基金(2016A030313672)资助项目
针对静电驱动微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)器件中常见的阶梯型微悬臂梁结构,提出一种吸合电压的计算方法。基于欧拉梁理论和修正的偶应力理论,运用能量法推导出吸合电压理论模型。采用试函数与待定系数的积来表示...
关键词：阶梯型悬臂梁 尺度效应 边缘场效应 偶应力理论 吸合电压 
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