晏忠

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
发文主题：TI共掺脉冲激光沉积透明导电薄膜柔性衬底更多>>
发文领域：理学更多>>
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基于柔性衬底的Ti、F共掺ZnO透明导电薄膜的制备及其性能研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2015年第8期963-969,共7页邓皓谦 赵文达 杜小琴 晏忠 吴晓京 
为了制备出高性能的可挠透明导电薄膜,采用脉冲激光沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上制备了Ti、F共掺的Zn O(TFZO)透明导电薄膜。研究了不同衬底温度、氧分压及F的掺杂量对TFZO薄膜电学性能和光学性能的影响。实验结果表明,...
关键词：透明导电薄膜 Ti、F共掺杂ZnO PET柔性衬底 脉冲激光沉积 
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