吴川

作品数：3被引量：3H指数：2
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供职机构：辽宁科技大学更多>>
发文主题：透明导电薄膜射频磁控溅射磁控溅射非平衡磁控溅射数值模拟更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《半导体技术》《发光学报》《真空》更多>>
所获基金：国家自然科学基金辽宁省高等学校优秀人才支持计划更多>>
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磁控溅射中电磁场分布二维模拟
《真空》2015年第6期14-18,共5页王晓明 吴川 周艳文 张绪跃 王复栋 王明磊 
本文采用计算机FORTRAN语言自主编程,通过建立通电线圈磁场的数学模型,对磁控溅射靶附近由通电线圈产生的磁场分布进行了二维数值模拟计算。计算表明当内、外线圈加反向电流,增加内或外线圈电流,可使通电线圈产生的磁场非平衡度增加,其...
关键词：磁场分布 磁控溅射 数值模拟 
粉末靶制备的AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的光电性能被引量：2
《发光学报》2015年第12期1427-1433,共7页刘思宁 周艳文 吴川 吴法宇 
国家自然科学基金(51172101;51372109);辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LR2012009)资助项目
室温下,采用射频磁控溅射AZO粉末靶和Ag靶在玻璃基底上制备Ag层厚度分别为12 nm和15 nm两组对称结构掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌(AZO/Ag/AZO)透明导电薄膜,研究了Ag层和AZO层厚度对薄膜光电性能的影响。结果表明:3层薄膜的可见光区平均透...
关键词：多层透明导电薄膜 金属基透明导电薄膜 粉末靶 射频磁控溅射 
粉末靶磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的特性被引量：2
《半导体技术》2015年第12期937-943,共7页刘思宁 周艳文 吴川 吴法宇 
国家自然科学基金资助项目(51172101;51372109);辽宁省高等学校优秀人才支持计划资助项目(LR2012009)
室温下采用射频磁控溅射粉末靶,在玻璃基底上制备了掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌(AZO/Ag/AZO)三层透明导电薄膜。通过优化中间银层厚度,优化了三层透明导电薄膜的光电性能。采用原子力显微镜和X射线衍射仪分别对薄膜的形貌和结构进行检测分...
关键词：AZO/Ag/AZO 多层透明导电薄膜 六方纤锌矿结构 粉末靶 射频磁控溅射 
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