谢卓

作品数：4被引量：8H指数：2
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供职机构：长春理工大学理学院更多>>
发文主题：光源激光等离子体GD极紫外光刻等离子体更多>>
发文领域：理学机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《中国激光》《物理学报》《应用物理》更多>>
所获基金：国家自然科学基金长春市科技局项目吉林省科技发展计划基金更多>>
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结构锡靶激光等离子体极紫外光辐射特性研究被引量：5
《中国激光》2021年第16期43-49,共7页李镇广 窦银萍 谢卓 王海建 宋晓伟 林景全 
国家自然科学基金青年科学基金(62005021);吉林省科技发展计划重点研发项目(20200401052GX)。
开展结构Sn靶激光等离子体极紫外光辐射特性研究,对波长为1064 nm的脉冲激光等离子体产生的极紫外光谱进行研究。实验结果表明,当激光能量为500 mJ,结构靶凹槽深度为100μm、宽度为300μm时,结构靶凹槽产生13.5 nm(2%带宽)带内光辐射积...
关键词：光谱学 极紫外辐射 激光等离子体 结构靶 光刻光源 
激光辅助放电等离子体极紫外光源研究进展被引量：1
《应用物理》2019年第1期1-6,共6页吴家志 谢卓 窦银萍 林景全 
极紫外光刻技术可以制造特征尺寸小于22 nm的芯片,是推动半导体集成电路发展的重要手段。极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分。激光辅助放电等离子体极紫外光源方法可以使传统固体靶材作为放电等离子体所需要的材料,其装置结构简...
关键词：激光辅助放电等离子体 Z箍缩等离子体 极紫外光源 
Gd靶激光等离子体光源离带辐射及其等离子体演化的研究被引量：1
《光谱学与光谱分析》2016年第10期3114-3118,共5页宋晓林 宋晓伟 窦银萍 田勇 谢卓 高勋 林景全 
国家自然科学基金项目(61178022);长春市科技局项目(14KP007)资助
利用脉冲宽度为10ns,输出波长为1 064nm的Nd∶YAG激光器作用金属Gd以及纳米粒子掺杂的低密度Gd玻璃等两种形式靶所产生等离子体光源的离带辐射进行了研究,发现等离子体所发出的连续辐射是离带辐射的主要成分,光谱分布与温度为5eV的普朗...
关键词：极紫外光刻 离带辐射 电子温度和密度 时空分辨光谱 
Gd靶激光等离子体6.7nm光源的实验研究被引量：3
《物理学报》2015年第23期204-211,共8页窦银萍 谢卓 宋晓林 田勇 林景全 
国家自然科学基金(批准号:61178022);长春市科技局项目(批准号:14KP007)资助的课题~~
本文对Gd靶激光等离子体极紫外光源进行了实验研究,在6.7 nm附近获得了较强的辐射,并研究了6.7nm附近光辐射随打靶激光功率密度变化的规律以及收集角度对极紫外辐射的影响.同时,对平面Gd靶激光等离子光源的离子碎屑角分布进行了测量,发...
关键词：极紫外光刻 极紫外光源 激光Gd等离子体 光源碎屑 
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