云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 马海力

马海力: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：上海交通大学更多>>; 发文主题：RRAM功函数流层电极氧化法更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《微电子学》更多>>; 所获基金：中国博士后科学基金北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>

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退火参数对铁电TiN/HfxZr1-xO2/TiN薄膜器件的电学性能影响被引量：1: 《微电子学》2020年第2期257-261,共5页朱曦马海力高天冯洁吕杭炳; 国家自然科学基金资助项目(61774012,61574010,61901010);北京市自然科学基金资助项目(4142007,4143059,4192014,4204092);北京市未来芯片技术高精尖创新中心科研基金资助项目(KYJJ2016008);中国博士后科学基金资助项目(2019M650404);朝阳区博士后科研经费资助项目(2019ZZ-9)。; 采用磁控溅射法制备了Zr含量占比为0.134和0.156的TiN/HfxZr1-xO2/TiN结构的薄膜器件。对该器件进行了不同条件下的退火实验。研究了HfxZr1-xO2器件的电流、极化和循环特性,以及特性随退火温度和退火时间改变的变化规律,并结合微观结构...; 关键词：HfxZr1-xO2 磁控溅射退火 MIM结构