赵欣茹

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：浙江大学信息与电子工程学系更多>>
发文主题：侧向ZNOSAW器件PI薄膜体声波谐振器更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《压电与声光》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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基于ZnO/PI结构的柔性SAW器件有限元仿真研究被引量：1
《压电与声光》2016年第4期535-538,共4页赵欣茹 金浩 王德苗 
国家自然科学基金资助项目(61204124);中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(2014QNA5002)
柔性电子的发展使微机电系统对柔韧性和延展性的需求日益增加,我们提出了一种基于ZnO和聚酰亚胺叠层结构的声表面波(SAW)器件。该文采用COMSOL软件对该结构的SAW器件进行二维有限元仿真分析,得到了器件阻抗随频率变化的特性,以及直观的...
关键词：柔性衬底 声表面波器件 有限元法 聚酰亚胺 ZnO厚度 
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