孙亚东

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纳米光栅制作技术的最新进展
《海峡科技与产业》2016年第2期78-79,共2页李秋琦 孙亚东 陈旗湘 刘旭静 余森江 
浙江省大学生科技创新项目(No.2015R409027);国家自然科学基金(No.11204283)资助课题
随着信息化社会的高速发展,现代光栅逐渐应用于信息处理及量子光学等领域,所以纳米光栅的制作变得十分重要。作者首先简要介绍了纳米光栅制作的几种传统方法,包括机械刻划、全息光刻、飞秒激光直写等。传统方法均存在成本高、工期长、...
关键词：薄膜 应力 自组装 纳米光栅 PDMS 
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