云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 苏星星

苏星星: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：西北大学更多>>; 发文主题：磁控溅射法禁带宽度传感器材料微观形貌柱结构更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《稀有金属材料与工程》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金更多>>

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采用磁控溅射法在Si(100)生长InN薄膜及其禁带宽度与拉曼的测试（英文）被引量：1: 《稀有金属材料与工程》2018年第1期69-74,共6页王雪文李婷婷苏星星吴朝科翟春雪胡峰张志勇赵武; National Natural Science Foundation of China(61405159,61076002);Natural Science Foundation of Education Commission of Shaanxi Province(2012JK848); 采用磁控溅射法在Si(100)衬底上生长出高取向性和多种微观形貌的InN薄膜,其中铟作为铟靶,氮气作为氮源。X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表明所有衍射峰和标准的纤锌矿晶型的InN一致,并且在(101),(100)和(002)方向具有极高的取向...; 关键词：薄膜晶体生长磁控溅射应力禁带宽度