王志坚

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：上海大学机电工程与自动化学院更多>>
发文主题：半导体材料光致发光晶体结构纳米ZNO射频磁控溅射更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《曲阜师范大学学报（自然科学版）》更多>>
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氧对纳米ZnO薄膜晶体结构和光致发光的影响被引量：3
《曲阜师范大学学报（自然科学版）》2004年第2期48-50,共3页潘志峰 袁一方 王志坚 
山东省教育厅科技发展计划资助项目(03C08)
ZnO是一种直接带半导体材料,在光电领域中和GaN一样受到关注.ZnO不仅有与GaN相似的晶体结构,而且它的激子结合能高达60meV,是GaN的2.4倍.采用射频(RF)磁控溅射法在n-Si(001)衬底上生长ZnO薄膜,XRD谱测量显示出氧压对ZnO薄膜的晶体结构...
关键词：ZNO薄膜 射频磁控溅射 光致发光 氧压 半导体材料 晶体结构 
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