宋博

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供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
发文主题：HFOAL2O3薄膜氟化镁基底中间层更多>>
发文领域：化学工程更多>>
发文期刊：《无机材料学报》更多>>
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氟化镁基底上HfO_2中间层对Al_2O_3薄膜微观组织和力学性能的影响（英文）
《无机材料学报》2016年第7期779-784,共6页宋博 赵丽丽 陈笑迎 游丽君 宋力昕 
采用电子束蒸镀技术在氟化镁基底上制备了单层Al_2O_3薄膜和含有HfO_2中间层的HfO_2/Al_2O_3双层薄膜。在空气中对所制备的薄膜进行1 h 600℃的退火处理。通过掠入角X射线衍射仪(GIXRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、傅里叶变换红外光谱仪(...
关键词：HfO2中间层 AL2O3薄膜 微观组织 力学性能 氟化镁基底 
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