贾瑞丽

作品数：3被引量：4H指数：2
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供职机构：天津大学更多>>
发文主题：金刚石刀具聚焦离子束离子束加工移动台SEM更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《电子显微学报》《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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面向Ga^+和惰性离子的聚焦离子束加工机理的研究
《电子显微学报》2016年第1期63-69,共7页贾瑞丽 徐宗伟 王前进 
国家重点基础研究发展计划(973计划)项目资助(No.2011CB706700);国家自然科学基金资助项目(No.51275559;No.51511130074)
聚焦离子束(FIB)技术越来越广泛地应用于纳米加工等领域,其加工机理的研究是该技术发展的重要基础。本文针对纳米结构加工过程中聚焦离子束对加工精度的影响规律,基于蒙特卡罗法的SRIM程序,对离子轰击硅、金、铬等典型基底进行了仿真分...
关键词：聚焦离子束(FIB) 纳米加工 能量损伤 横向离散 
聚焦离子束加工微锥形结构的制造误差分析被引量：2
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2015年第9期827-833,共7页徐宗伟 申雪岑 李云涛 李康 林枫 贾瑞丽 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB706700);国家自然科学基金资助项目(51275559)
聚焦离子束(FIB)纳米制造技术已经成为微纳米尺度功能器件加工的一种重要方法,利用聚焦离子束直写加工可实现复杂二维微纳结构的高精度制造.然而由于离子溅射产额随入射角度非线性变化规律、再沉积现象及离子束能量分布特性的综合影响,...
关键词：聚焦离子束 微纳制造 直写加工 三维结构加工 高斯分布 溅射产额 
聚焦离子束加工单晶体金刚石刀具实验研究被引量：2
《纳米技术与精密工程》2014年第6期424-428,共5页徐宗伟 李万里 兀伟 贾瑞丽 徐博良 
国家重点基础研究发展计划(973计划)赞助项目(2011CB706700);国家自然科学基金资助项目(51275559);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金资助项目(KF13008)
作为超精密切削加工刀具的理想材料,单晶体金刚石材料的加工制造方法直接决定了刀具切削加工表面的精度和质量.由于金刚石材料具有明显的各向异性,在传统的金刚石刀具机械刃磨法中需要综合考虑制备工艺和刀具性能的协同关系,主要包括不...
关键词：金刚石刀具 聚焦离子束 晶面晶向 
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