李福龙

作品数：2被引量：1H指数：1
导出分析报告
供职机构：天津理工大学更多>>
发文主题：机电耦合系数声表面波器件表面粗糙度ALN薄膜压电薄膜更多>>
发文领域：自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
发文期刊：《光电子．激光》《天津理工大学学报》更多>>
所获基金：天津市科技计划国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
大面积均匀平坦纳米AlN薄膜的研制
《光电子．激光》2013年第9期1739-1744,共6页朱宇清 陈希明 李福龙 李晓伟 杨保和 
国家自然科学基金(61106007);天津市科技计划(10JCYBJC05900)资助项目
采用射频磁控溅射法,通过优化沉积工艺,在n型(100)Si片上制备出(100)择优取向表面粗糙度均匀的氮化铝(AlN)薄膜。当溅射功率为120 W和N2∶Ar=12∶8时,制备的AlN薄膜的结晶性最好,101.6mm AlN薄膜样品的表面粗糙度为3.31-3.03nm,平均值为...
关键词：氮化铝（AlN）薄膜 声表面波（SAW） 表面粗糙度 均匀性 
基于ARM7的静电探针测量仪的设计被引量：1
《天津理工大学学报》2011年第3期26-29,共4页许旺 陈政 李福龙 黄艳祥 王飞 苗银萍 宋殿友 张楷亮 
天津理工大学大学生创新性实验计划(DCSX09-004)
设计了一种以ARM7为核心的静电探针自动测量仪,能够满足等离子参数测量的需要.该测量仪由A/D模块,D/A模块,以及隔离放大模块构成,可以实现对等离子体I-V特性曲线的获得,通过计算和分析伏安特性曲线从而获得等离子体密度和温度等相关参数...
关键词：静电探针 等离子体 伏安特性曲线 A/D D/A 隔离放大 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部