夏军

作品数:1被引量:4H指数:1
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供职机构:上海大学更多>>
发文主题:阳极碲锌镉探测器碲锌镉平面电极容栅更多>>
发文领域:金属学及工艺核科学技术电子电信更多>>
发文期刊:《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金:上海市科学技术委员会资助项目国家自然科学基金更多>>
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CdZnTe材料的表面钝化新工艺被引量:4
《Journal of Semiconductors》2005年第7期1475-1479,共5页王昆黍 桑文斌 闵嘉华 腾建勇 张奇 夏军 钱永彪 
国家自然科学基金(批准号:10175040);上海市科委基金(批准号:03DZ11006)资助项目~~
研究了一种新的钝化CdZnTe(CZT)器件表面的工艺,即先采用KOH KCl溶液对CZT表面进行处理,再用NH4F/H2O2溶液对其进行表面氧化的二步法钝化工艺.并借助俄歇电子能谱(AES)、微电流测试仪等手段对其表面钝化层的质量进行了鉴别,同时与KOH KC...
关键词:CDZNTE晶体 表面钝化 漏电流 KOH-KCl溶液 NH4F/H2O2溶液 
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