张昔峰

作品数：2被引量：11H指数：1
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：大行程压电驱动器压电传感器闭环控制系统谐振更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《中国机械工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
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具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台被引量：11
《光学精密工程》2013年第7期1811-1817,共7页张昔峰 黄强先 袁钰 黄帅 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA042409);国家自然科学基金资助项目(No.51175141)
基于宏微组合驱动方式,提出一种具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台设计方案来减小精密测量系统中由于工作台定位及角度误差引入的测量误差。首先,从原理上对设计方案进行了论证。该方案中宏动工作台和微动工作台共用位置反馈系统...
关键词：六自由度工作台 宏微二级驱动 纳米定位 角度误差补偿 
基于聚偏氟乙烯的扫描探针显微镜系统
《中国机械工程》2012年第23期2839-2843,共5页魏晋鹏 黄强先 张昔峰 盛秀丽 
国家自然科学基金资助项目(50975075);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20100111110011)
采用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜和压电陶瓷(PZT),并结合由电化学研磨得到的钨探针,研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头。在该测头中,PVDF压电薄膜作为振动梁,其下方中间位置固定有钨探针,在PZT的驱动下,PVDF和探针处于谐振振...
关键词：PVDF振动梁 钨探针 定位控制 扫描探针显微镜 
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