张巧真

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供职机构：电子科技大学更多>>
发文主题：微波介质BAO刻蚀液刻蚀稀土氧化物更多>>
发文领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>
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BaO-Nd_2O_3-Sm_2O_3-TiO_2薄膜的微波特性
《压电与声光》2013年第5期716-718,共3页张洪波 王文君 秦超 张巧真 张继华 
国家自然科学基金资助项目(51172035)
在制作完底电极的LaAlO3(100)衬底上,利用磁控溅射法制备了一层BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)系薄膜,再对薄膜进行退火处理。X线衍射仪(XRD)分析表明,经退火处理的BNST薄膜结晶效果良好。采用薄膜电容结构来实现电容的测量,主要研究了BNS...
关键词：BNST薄膜 射频磁控溅射 高频应用 介电性能 
退火温度对BNST薄膜结构和性能的影响
《压电与声光》2012年第5期742-745,共4页张巧真 张继华 杨传仁 陈宏伟 赵强 
广东省教育部产学研结合重大专项基金资助项目(2009A090100003)
采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/LaAlO3(100)衬底上制备了BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2系(BNST)薄膜。研究了退火温度对BNST薄膜结构、表面形貌和介电性能的影响。X线衍射仪(XRD)分析表明,随着退火温度的升高,晶粒逐渐长大。经850℃退火处理的BNST...
关键词：BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)薄膜 射频磁控溅射 退火温度 薄膜结构 介电性能 
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