宋佳杰

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：南京航空航天大学更多>>
发文主题：单晶硅电火花加工硅接触电阻X射线衍射更多>>
发文领域：金属学及工艺理学更多>>
发文期刊：《中国机械工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金江苏省博士后科研资助计划项目更多>>
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进电端放电法对单晶硅电火花加工接触电阻的影响研究被引量：1
《中国机械工程》2013年第13期1796-1799,共4页宋佳杰 邱明波 刘志东 田宗军 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省博士后科学基金资助项目(1002009C);南京航空航天大学科研启动基金资助项目
为改善高电阻率硅的电火花线切割可加工性,提出了一种在半导体电镀金属薄膜表面放电的方法(简称进电端放电法)。首先在硅(电阻率为2.1Ω.cm)表面电镀一层铜膜,然后利用铜刷作电极,在铜膜表面进行放电,利用放电形成的高温在硅表面形成重...
关键词：电火花加工 硅 接触势垒 接触电阻 
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