张燕

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：电子科技大学通信与信息工程学院更多>>
发文主题：氮氧化硅光开关光电子学热光开关全内反射更多>>
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基于氮氧化硅与聚合物混合集成低功耗全内反射热光开关被引量：2
《中国激光》2011年第11期251-256,共6页张燕 陈开鑫 郑军凯 
国家自然科学基金(61177054)资助课题
利用具有相反热光特性的氮氧化硅(SiON)与聚合物材料,采用混合集成技术设计了一种低功耗全内反射(TIR)热光波导开关。该光开关通过在两交叉的氮氧化硅波导芯的X结中心部分制作一个深度等于波导芯厚度的狭缝,并在其中填充与波导包层相同...
关键词：光电子学 光开关 热光原理 氮氧化硅 全内反射 混合集成 聚合物 
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