冯俊波

作品数：2被引量：7H指数：1
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供职机构：北京大学更多>>
发文主题：波分复用波导波长光栅耦合器光栅参数更多>>
发文领域：电气工程电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》《华中科技大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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氮化铝薄膜的原子层淀积制备及应用被引量：1
《华中科技大学学报（自然科学版）》2009年第7期35-37,41,共4页陈曜 冯俊波 周治平 于军 
国家重点基础研究发展计划预研项目(2006CB708310);国家自然科学基金资助项目(60578048)
以三甲基铝(TMA)和氨气(NH3)为源,在原子层淀积设备上实现了氮化铝薄膜的制备.通过扫描电子显微镜、X射线能谱仪和原子力显微镜对氮化铝薄膜的生长速率、成分和粗糙度进行了分析,优化了薄膜淀积工艺.以每周期单分子层的生长模式进行氮...
关键词：氮化铝 原子层淀积 保型性 粗糙度 环形光子晶体器件 
硅基微纳光电子系统中光源的研究现状及发展趋势被引量：6
《激光与光电子学进展》2009年第10期28-35,共8页周治平 王兴军 冯俊波 王冰 
综合微电子学及微纳光学的优势,硅基微纳光电子学正在快速走向实用阶段。与微电子制造技术兼容的微纳光子器件,包括调制器、探测器、分束器以及耦合器等均取得了重要的突破。但硅基微纳光源的研究则仍处在探索阶段。外部光源在多大程度...
关键词：微纳光电子学 集成光学 硅基光源 
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