宋子军

作品数：1被引量：34H指数：1
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发文主题：压阻式压力传感器阳极键合封装结构芯片电阻更多>>
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适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器被引量：34
《光学精密工程》2012年第3期550-555,共6页伞海生 宋子军 王翔 赵燕立 余煜玺 
国家自然科学基金资助项目(No.51075344;No.51175444)
为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介...
关键词：微机电系统 压阻式压力传感器 恶劣环境 可靠性 
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