孙言

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发文主题：氮化钛非晶硅薄膜非晶硅微测辐射热计更多>>
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基于非晶硅薄膜的微测辐射热计光学仿真和优化
《红外技术》2012年第6期319-324,331,共7页何敏 李伟 李雨励 孙言 蒋亚东 
基于非晶硅薄膜的非制冷微测辐射热计具有结构简单、易于大规模集成、工艺兼容以及良好探测性能等特点,在红外探测领域等受到关注。引入氮化钛薄膜作为新型红外吸收材料,通过光学导纳矩阵法,对基于非晶硅薄膜的微测辐射热计的红外吸收特...
关键词：非晶硅 氮化钛 微测辐射热计 光学仿真 
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