罗辰

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发文主题：长波非晶硅薄膜硅薄膜光斑尺寸单晶体更多>>
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微电子光刻实验净化工作台设计
《中国现代教育装备》2011年第5期21-22,32,共3页王强 施敏 罗辰 张丹 
南通市应用研究计划(编号:k2010014);南通大学杏林学院自然科学基金(编号:2010k120)
提出了一种导流分压式双正压净化工作台。分析了该工作台的结构特征及工作原理。通过与常规垂直层流净化工作台的比较及实验结果分析,指出了该产品的经济性、优越性及应用前景。
关键词：导流分压 双正压 净化工作台 
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