李寿洛

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：杭州电子科技大学更多>>
发文主题：MEMS分辨率灵敏度误差补偿电容式加速度传感器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》更多>>
所获基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析被引量：2
《传感技术学报》2010年第4期501-507,共7页董林玺 李寿洛 陈金丹 颜海霞 许立 王光义 孙玲玲 
国家自然科学基金资助项目资助(60506015);浙江省自然科学基金资助项目资助(Y107105)
改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分析比较,重点分析了振子质量、空气阻尼、系统阻尼系数比以及灵敏度等特性,得出在相同的外轮廓尺寸、支撑...
关键词：MEMS 微电容式惯性传感器 检测电容结构 
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