卢沛洪

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ZnO膜膜厚对ZnO/p-Si异质结光电转换性能的影响
《微纳电子技术》2013年第7期425-429,共5页卢沛洪 杨元政 邓子谦 谢致薇 
广东省教育部产学研结合项目(2012B091100303;2012B091100099)
采用射频磁控溅射法在p型Si衬底上制备了不同膜厚的氧化锌中掺杂氧化铝(AZO)薄膜。测试了电阻率、结构性质、光透过率、单色光光子-电子转换效率(IPCE)和电池性能谱,研究了膜厚对电池光电转换性能的影响。结果表明,在适当的膜厚内,随着...
关键词：氧化锌中掺杂氧化铝(AZO) 硅(Si) 太阳电池 光电转换 膜厚 
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