张学锋

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：西安交通大学更多>>
发文主题：传感器芯片压敏电阻高过载硅基底脚底更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《西安交通大学学报》更多>>
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多梁结构压阻式测振加速度传感器被引量：1
《西安交通大学学报》2013年第8期33-37,共5页刘岩 赵玉龙 孙禄 张学锋 蒋庄德 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2009CB724405);教育部长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT1033);国家自然科学基金资助项目(51275402)
为满足制造装备智能化发展对测振传感器的需求,针对常见加速度传感器在性能、成本和微型化上的不足,研制了一种基于微机电系统技术的多梁结构压阻式加速度传感器。通过将2根短小敏感梁引入传统双桥结构的方式,在提升固有频率的同时,保...
关键词：微机电系统 加速度传感器 固有频率 灵敏度 
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