胡梦月

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供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文主题：多栅结型晶体管结型短沟道效应更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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沟道形状对无结型多栅器件性能影响探究
《微电子学》2014年第3期380-383,共4页胡梦月 梁仁荣 王敬 许军 
国家重点基础研究发展规划项目(2011CBA00602);国家科技重大专项(2009ZX02035-004-01;2011ZX02708-002)
随着集成电路特征尺寸进入纳米尺度,摩尔定律的延续受到一定的挑战,纳米技术代的晶体管亟需全新的材料、器件结构和工艺集成技术。在器件结构方面,无结型场效应晶体管由于其近似理想的电流电压特性、优良的等比例缩小能力以及极其简单...
关键词：无结型晶体管 沟道形状 短沟道效应 
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