王江

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锂掺杂氧化锌薄膜晶体管的研究
《湘潭大学自然科学学报》2013年第2期17-19,共3页郭建 金礼 梁波 王江 
采用溶胶凝胶法(sol-gel)在P型硅基底制备了锂掺杂氧化锌薄膜.以锂掺杂氧化锌薄膜为沟道层,制备了底栅结构的薄膜晶体管.XRD实验结果表明,500℃退火得到的锂掺杂氧化锌薄膜为纤锌矿结构,具有c轴择优取向.SEM实验结果说明,薄膜晶粒大小约...
关键词：薄膜晶体管 溶胶凝胶 锂掺杂 氧化锌 
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