云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 王岩

王岩: 作品数：1被引量：2H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>; 发文主题：MEMS亚胺化聚酰亚胺材料纳米化湿度传感器更多>>; 发文领域：机械工程更多>>; 发文期刊：《仪表技术与传感器》更多>>; 所获基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>

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基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器的研究被引量：2: 《仪表技术与传感器》2016年第1期7-8,36,共3页雷程唐力程毛海央王岩王玲胡建东欧文熊继军; 国家自然科学基金资助项目(61401458,61335008,6136006,51205373);江苏省自然科学基金资助项目(BK20131098);河南省科技开放合作项目(132106000073); 针对现有的MEMS湿度传感器制备工艺复杂、灵敏度较低等问题,文中报道了一种基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器,该器件的感湿材料是利用等离子技术对聚酰亚胺进行表面修饰制备的,该方法简单且与CMOS工艺兼容。同时文中对同样结构...; 关键词：湿度传感器灵敏度聚酰亚胺纳米化等离子体技术亚胺化