方光荣

作品数:1被引量:2H指数:1
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图形发生器的成像系统被引量:2
《微细加工技术》2006年第3期6-9,共4页刘伟 魏淑华 方光荣 顾文琪 
中国科学院知识创新工程重大项目资助(KGCX1-Y-8)
为实现电子束曝光机扫描场的线性畸变校正,设计了图形发生器的成像系统,该系统包括硬件和软件两部分。硬件设计上使用了高速、高精度模数转换器,并对其工作方式及图像采集流程做了具体阐述。软件设计上利用点阵成像的原理,把采集到的图...
关键词:图形发生器 扫描 点阵成像原理 
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