傅茜

作品数:1被引量:11H指数:1
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供职机构:华中科技大学光学与电子信息学院武汉光电国家实验室更多>>
发文主题:覆铜板红外激光激光技术紫外激光更多>>
发文领域:电子电信金属学及工艺更多>>
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1064nm和355nm激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究被引量:11
《激光技术》2014年第4期435-440,共6页傅茜 张菲 蒋明 段军 曾晓雁 
国家自然科学基金重点项目基金资助项目(51135005)
为了研究不同纳秒激光工艺参量(波长、能量密度、扫描速率)以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量(包括刻蚀深度及加工面粗糙度)的影响,采用50W的1064nm红外光纤激光器和10W的355nm紫外固体激光器对覆铜板进行了对比刻蚀实验。通过分析红外...
关键词:激光技术 1064nm红外激光 355nm紫外激光 覆铜板 
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