肖雄

作品数：2被引量：14H指数：2
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供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室更多>>
发文主题：MPCVD单晶金刚石金刚石微波等离子体化学气相沉积纳米金刚石薄膜更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空与低温》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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MPCVD法合成单晶金刚石的研究及应用进展被引量：13
《真空与低温》2015年第3期131-138,共8页阳硕 满卫东 赵彦君 何莲 肖雄 
国家自然科学基金(NO.11175137)
单晶金刚石因其优异的物理化学性质,使其成为高新技术领域最有潜力的材料之一。本文首先对CVD(化学气相沉积)法制备单晶金刚石进行了简介,然后对MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)制备单晶金刚石过程中衬底选择、预处理、沉积参数等进行...
关键词：单晶金刚石 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 高技术应用 
纳米金刚石的制备及研究进展被引量：4
《真空与低温》2015年第2期63-68,77,共7页肖雄 满卫东 何莲 赵彦君 阳硕 
国家自然科学基金(NO.11175137)
纳米金刚石具有比普通金刚石更优越的性能,目前有诸多学者致力于纳米金刚石的研究。化学气相沉积法(CVD)制备纳米金刚石是近年来比较成熟的制备方法。通过简要描述纳米金刚石薄膜的生长机制,介绍了两种制备纳米金刚石薄膜的方法及其优势...
关键词：纳米金刚石薄膜 制备 研究进展 
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