聂菲

作品数：1被引量：5H指数：1
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集成电路芯片生产的环境保护被引量：5
《环境保护科学》2006年第3期22-24,27,共4页聂菲 张卿川 王辉民 
集成电路产业对国民经济的发展起着“倍增器”的作用,集成电路芯片的加工生产工艺流程比较复杂,污染因子多,环境问题突出。笔者详细分析了典型芯片制造厂污染物的产生及应采取的环保治理措施,对于芯片生产排放的半导体特殊气体,目前我...
关键词：集成电路 环境影响 对策措施 
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