徐延光

作品数：2被引量：6H指数：1
导出分析报告
供职机构：西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室更多>>
发文主题：MEMS技术电阻温度系数热敏传感器主动流动控制全柔性更多>>
发文领域：电子电信航空宇航科学技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《航空学报》《半导体技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国航空科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
一种全柔性气泡致动器及其制作工艺
《航空学报》2009年第10期1961-1966,共6页吕海峰 苑伟政 马炳和 邓进军 徐延光 
国家自然科学基金(90305017);航空科学基金(03I533066)
气泡致动器的弹性薄膜厚度不均、高压气体泄露、刚性基底以及缺乏控制依据是制约其实际应用的关键问题。为了解决上述问题,采取了如下措施:对现有成膜工艺进行了改进,提高了弹性薄膜厚度的一致性;开发了一种新的气泡致动器的制作工艺,...
关键词：气泡致动器 主动流动控制 柔性结构 制作工艺 薄膜 变形 
基于MEMS技术的柔性Ni基热敏传感器阵列研制被引量：6
《半导体技术》2009年第7期697-700,共4页徐延光 马炳和 邓进军 
国家自然科学基金资助项目(50775188);国家863计划课题资助项目(2007AA04Z347)
利用Ni材料的高电阻温度系数特性,结合MEMS微加工技术,研究开发了全柔性的Ni基热敏传感器及其阵列。对传感器阵列的材料选择、Ni薄膜电阻的特点以及制备工艺进行了研究。通过油浴升温和电流阶跃响应方法实现了对传感器重要静态、动态参...
关键词：热敏传感器 Ni电阻 柔性基底 电阻温度系数 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部