居勇锋

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供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
发文主题：磁控溅射氧化钛薄膜X射线光电子能谱电阻温度系数电学更多>>
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发文期刊：《电子器件》更多>>
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磁控溅射氧化钛薄膜的电学特性研究
《电子器件》2011年第6期625-628,共4页李林 吴志明 居勇锋 蒋亚东 
国家自然科学基金项目(60736005)
采用直流磁控溅射法在K9玻璃上制备了不同溅射温度和氧气流量的氧化钛(TiOx)薄膜。采用XPS、霍尔效应测试仪对薄膜的组份、载流子浓度和迁移率进行了测试,发现随着溅射氧气流量的增大,薄膜中的氧元素比例增大,载流子浓度减小,迁移率增...
关键词：TiOx薄膜 霍尔效应 X射线光电子能谱 电阻温度系数 
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