罗伯特·杰夫

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化学镀铜中金基底材料的等离子体处理
《材料导报（网络版）》2011年第3期31-32,共2页廖勇 张胜涛 罗伯特·杰夫 黄小红 胡莲跃 
利用大气压氩氢滑动电弧等离子体对金基底材料进行表面处理，研究了等离子体表面处理对镀铜沉积特性的影响。结果显示利用氩氢等离子体对金基底材料表面进行处理能有效地提高铜沉积层的均一性。该研究对于化学镀基底材料的表面处理具有...
关键词：化学镀 非热等离子体 滑动电弧 等离子体表面处理 
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