云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 陈松

陈松: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：成都信息工程大学更多>>; 发文主题：MEMSSM溅射微机电系统英文更多>>; 发文领域：一般工业技术电气工程更多>>; 发文期刊：《稀有金属材料与工程》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金更多>>

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微机电系统用TbCu_7型SmCo基薄膜的合成(英文): 《稀有金属材料与工程》2013年第3期462-465,共4页彭龙李乐中陈松李元勋; National Natural Science Foundation of China(61001025);Scientific Research Foundation of CUIT(KYTZ201112); 微机电系统(MEMS)的发展要求Si基片上的永磁薄膜具有良好的热稳定性。采用磁控溅射工艺在单晶Si(100)基片上沉积了SmCo基永磁薄膜,研究了溅射参数对薄膜沉积速率、微观结构、晶体结构和磁性能的影响。结果表明:通过调整溅射参数可以获得...; 关键词：SmCo合金永磁薄膜溅射 MEMS